思锐智能取得离子注入设备专利，提高了密封的可靠性

国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司取得一项名为“一种离子注入设备”的专利，授权公告号CN224190932U，申请日期为2025年5月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种离子注入设备，包括晶圆片库，晶圆片库包括真空腔和驱动机构，驱动机构通过安装板与真空腔连接，驱动机构包括驱动杆，驱动杆的第一端伸入到真空腔内，驱动杆的第一端设置有晶舟，驱动杆和真空腔之间设置有密封结构，密封结构包括套设在驱动杆外侧的波纹管，波纹管的第一端与真空腔密封连接，波纹管的第二端与驱动杆的第二端密封连接。本实用新型提供的离子注入设备晶片库的驱动杆与真空腔之间采用波纹管进行密封，由传统的滑动密封改为静态密封，从而提高了密封的可靠性，并降低了对驱动杆的加工以及装配精度的要求，解决了传统密封容易因磨损导致失效的问题。

天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本135298.7908万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目83次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息169条，此外企业还拥有行政许可25个。

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