思锐智能申请用于ALD半导体设备的真空腔铰链装置专利，提高了腔盖开启和关闭的平稳性

国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“一种用于ALD半导体设备的真空腔铰链装置”的专利，公开号CN121952418A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于ALD半导体设备的真空腔铰链装置，涉及半导体设备技术领域；铰链装置包括腔盖侧铰链模块、腔体侧铰链模块和开合驱动组件，腔盖侧铰链模块安装于ALD设备腔盖的外侧壁，所述腔盖侧铰链模块包括第一铰链座、第二铰链座、第一铰链连接组件和铰链板；腔体侧铰链模块安装于ALD设备腔体的外侧壁，所述腔体侧铰链模块包括铰链底座、第三铰链座、第二铰链连接组件；本发明提供铰链装置，整体采用腔外悬臂式结构，分为腔盖侧与腔体侧上下两个部分，结构简单，避免了复杂的连杆机构多个运动副误差累积问题，提高了腔盖开启和关闭的平稳性；在满足强度、刚度和对重型腔盖驱动力的条件下，空间占用率低，有利于设备集成化设计。

天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本135298.7908万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目83次，专利信息169条，此外企业还拥有行政许可25个。

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