全芯智造申请用于缺陷检测的方法、设备和存储介质专利,可以提高缺陷检测的准确性和适用性

市场资讯 2026-05-05 08:51:42
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国家知识产权局信息显示,全芯智造技术股份有限公司申请一项名为“用于缺陷检测的方法、设备和存储介质”的专利,公开号CN121982016A,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,根据本公开的示例实施例提供了用于缺陷检测的方法、设备和存储介质。该方法包括获取晶圆的待检测部分的测试图像和晶圆中对应于待检测部分的参考部分的参考图像;基于测试图像和参考图像,利用缺陷检测模型中,分别生成测试图像和参考图像的相应多尺度特征表示;利用缺陷检测模型,基于相应多尺度特征表示,生成差异特征,差异特征表示待检测部分和参考部分之间的差异;以及基于差异特征,生成针对待检测部分的缺陷检测结果。以此方式,可以提高缺陷检测的准确性和适用性。

天眼查资料显示,全芯智造技术股份有限公司,成立于2019年,位于合肥市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本36000万人民币。通过天眼查大数据分析,全芯智造技术股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目64次,财产线索方面有商标信息222条,专利信息224条,此外企业还拥有行政许可5个。

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