苏州矽视科技申请静电吸盘控制器专利，能够合成复杂的波形

国家知识产权局信息显示，苏州矽视科技有限公司申请一项名为“一种静电吸盘控制器、控制方法及静电吸盘”的专利，公开号CN122018389A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种静电吸盘控制器、控制方法及静电吸盘，包括：吸附电压输出模块，包括吸附电压输出模块、晶圆偏置模块，吸附电压输出模块为浮动式、可重构的高压电源组，吸附电压输出模块的电源参考地GND_HP与晶圆偏置模块的高压输出端V_bias相连接，从而使吸附电压输出模块产生的电压V_A,V_B以V_bias为基准进行浮动；可重构吸附波形模块，由FPGA控制的高压放大器阵列构成，能够合成复杂的波形；多频段阻抗谱模块，向电极施加低频到高频的正弦扫频信号，通过测量每个频率点上的电压与电流的幅值和相位差，计算出复阻抗；自适应控制单元，输出当前晶圆的材料类型标识符 M_id 和电阻率估计值。

天眼查资料显示，苏州矽视科技有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本516.3407万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州矽视科技有限公司参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息27条，此外企业还拥有行政许可8个。

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