国科天骥申请新型键合产酸剂的丙烯酸类单体及其制备方法专利,提高光刻图形的均匀性

市场资讯 2026-05-15 16:51:52
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国家知识产权局信息显示,国科天骥(山东)新材料有限责任公司申请一项名为“一种新型键合产酸剂的丙烯酸类单体及其制备方法”的专利,公开号CN122036577A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明提供一种新型键合产酸剂的丙烯酸类单体及其制备方法。采用所述丙烯酸类单体制备的酸敏树脂形成的光刻胶可以控制酸扩散,提高光刻图形的均匀性,明显改善光刻图案的线宽粗糙度;并且,其曝光前后在有机显影液中的溶解度差异较大,可以实现高对比度的光刻图形。

天眼查资料显示,国科天骥(山东)新材料有限责任公司,成立于2019年,位于滨州市,是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,国科天骥(山东)新材料有限责任公司专利信息36条,此外企业还拥有行政许可16个。

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