苏州矽视科技申请基于CD-SEM的大尺寸精密测量方法及系统专利，有效解决传统多帧拼接精度下降问题

国家知识产权局信息显示，苏州矽视科技有限公司申请一项名为“一种基于CD-SEM的大尺寸精密测量方法及系统”的专利，公开号CN122041775A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明提供一种基于CD‑SEM的大尺寸精密测量方法及系统，应用于精密测量技术领域，在平台连续运动过程中实时触发逐行扫描并进行动态补偿，以获得高精度的大尺寸图像，其中，通过位移脉冲触发逐行采样，同时实时监测平台位移，并将位置偏差计算为补偿量叠加到偏转驱动信号中，实现扫描点位的动态纠偏，保证图像的几何一致性和准确性；在标定过程中，通过对标准图形的像素距离与平台实际位移进行比对，计算相应的像素当量，用于图像的物理尺寸计算。本发明有效解决了传统CD‑SEM多帧拼接过程中由于位移误差、振动或采样不均匀造成的精度下降问题，具有高效、大范围、可计量的优势，适用于半导体及精密加工领域的在线检测与质量控制。

天眼查资料显示，苏州矽视科技有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本516.3407万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州矽视科技有限公司参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息28条，此外企业还拥有行政许可8个。

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