合光光掩模科技申请光罩关键尺寸的补偿方法专利，提高了光罩关键尺寸的补偿精度

国家知识产权局信息显示，合光光掩模科技（安徽）有限公司申请一项名为“光罩关键尺寸的补偿方法、装置及介质”的专利，公开号CN122046448A，申请日期为2026年2月。

专利摘要显示，本公开提供了一种光罩关键尺寸的补偿方法、装置及介质，补偿方法包括：在光罩表面确定基准补偿点并将基准补偿点扩展为参考控制网格，根据参考控制网格生成补偿曲面，在补偿曲面上选取若干补偿点并从中选择目标补偿点，以目标补偿点为中心将补偿曲面划分为多个参考区域，每个参考区域中的多个补偿点组成区域补偿点集合；对目标补偿点的关键尺寸和补偿点的关键尺寸加权计算，获取目标补偿点的参考关键尺寸，对目标补偿点进行补偿，其中，加权参数与区域补偿点对应的参考区域与目标补偿点的距离呈负相关。本公开通过重构补偿曲面扩展补偿点数量，并采用距离衰减加权算法计算目标补偿点的参考关键尺寸及补偿值，提高了光罩关键尺寸的补偿精度。

天眼查资料显示，合光光掩模科技（安徽）有限公司，成立于2023年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本190995.68万人民币。通过天眼查大数据分析，合光光掩模科技（安徽）有限公司参与招投标项目147次，财产线索方面有商标信息21条，专利信息29条，此外企业还拥有行政许可19个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。