隐冠半导体申请位移台及传送装置专利，能够实现大行程、高速、高加速的远距离传送

国家知识产权局信息显示，上海隐冠半导体技术股份有限公司申请一项名为“一种位移台及传送装置”的专利，公开号CN122094459A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，本申请提供了一种位移台及传送装置，涉及半导体设备制造的技术领域。本申请提供的位移台包括：定子单元、设于定子单元的上方的动子单元、能够驱动动子单元相对于定子单元运动的压电驱动模组以及电磁驱动模组；压电驱动模组包括：与动子单元相连接的压电驱动机构，压电驱动机构被配置为能够作用于定子单元的上表面；电磁驱动模组包括：设于定子单元上的导体阵列以及设于动子单元上的与导体阵列相匹配的磁体阵列。本申请提供了一种位移台，既能够实现大行程、高速、高加速的远距离传送，同时能够实现高精度定位，且具有较佳的位置稳定性，本申请的动子单元能够通过电磁驱动模组跨越多个位移台的定子单元，从而实现交接，无需人工或交接机械手。

天眼查资料显示，上海隐冠半导体技术股份有限公司，成立于2019年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本4200万人民币。通过天眼查大数据分析，上海隐冠半导体技术股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目34次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息291条，此外企业还拥有行政许可8个。

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