云天半导体申请具有双面应力缓冲结构的TGV互连结构专利，有效降低TGV孔对玻璃的整体应力

国家知识产权局信息显示，厦门云天半导体科技有限公司申请一项名为“一种具有双面应力缓冲结构的TGV互连结构及其制作方法”的专利，公开号CN122161456A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本发明公开了一种具有双面应力缓冲结构的TGV互连结构及其制作方法，包括玻璃基板，所述玻璃基板包括相对设置的第一表面和第二表面，以及在厚度方向上贯穿玻璃基板的玻璃通孔；以及导电互连柱，设置于玻璃通孔内，所述导电互连柱的两端端面高度均低于玻璃基板的对应表面，从而在玻璃通孔的两端孔口处分别形成凹陷空间；以及介质层，覆盖于所述第一表面和第二表面，并填充玻璃通孔两端的凹陷空间；介质层在对应导电互连柱两端的位置设有开口，所述开口的孔径小于玻璃通孔的孔径；以及重布线层，设置于第一表面和第二表面的介质层上，重布线层延伸至所述开口内，并与导电互连柱的端面连接。有效降低TGV孔对玻璃的整体应力，提升互连结构的可靠性。

天眼查资料显示，厦门云天半导体科技有限公司，成立于2018年，位于厦门市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2201.6646万人民币。通过天眼查大数据分析，厦门云天半导体科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目31次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息141条，此外企业还拥有行政许可21个。

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