江苏首芯半导体申请电源滤波器及滤波方法专利，降低高频干扰对半导体加工机台内电源回路、电子器件及信号链路的干扰

国家知识产权局信息显示，江苏首芯半导体科技有限公司申请一项名为“电源滤波器、半导体加工机台及滤波方法”的专利，公开号CN122178859A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本申请涉及电源滤波器技术领域，公开了一种电源滤波器、半导体加工机台及滤波方法。本电源滤波器包括壳体；将壳体内空间隔离出第一腔室和第二腔室的隔离件，其中，第一腔室设置有第一信号输入模块和第一信号输出模块，第二腔室设置有第二信号输入模块和第二信号输出模块；电源滤波模块，设置于第一腔室内，用于从第一信号输入模块获取射频电源电信号，并从第一信号输出模块输出滤波后的电信号；热电偶滤波模块，设置于第二腔室，用于从第二信号输入模块获取热电偶产生的电信号，并从第二信号输出模块输出滤波后的电信号。本申请基于上述装置阻碍高频谐波信号的传播，降低高频干扰对半导体加工机台内电源回路、电子器件及信号链路的干扰。

天眼查资料显示，江苏首芯半导体科技有限公司，成立于2023年，位于无锡市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1433.9071万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏首芯半导体科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息38条，专利信息41条，此外企业还拥有行政许可22个。

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