霖鼎光学申请晶圆级氟化钙微光学元件加工方法专利，最终获得近零损伤、超光滑的表面

国家知识产权局信息显示，霖鼎光学（江苏）有限公司申请一项名为“一种晶圆级氟化钙微光学元件的加工方法”的专利，公开号CN122184991A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆级氟化钙微光学元件的加工方法，涉及微光学元件加工技术领域，方法包括：采用仿形磨头对氟化钙晶圆表面进行仿形磨削，所述仿形磨头的表面轮廓与目标微结构阵列互补，所述仿形磨头具有与所述尖角相对应的尖端，所述仿形磨头的尖端能够进入所述尖角区域；磨削完成后，向仿形磨头与氟化钙晶圆表面之间供给磁流变液，通过内嵌于仿形磨头的永磁阵列产生的磁场使磁流变液形成柔性缎带，柔性缎带附着在仿形磨头的尖端，对尖角区域进行精磨；采用气体团簇离子束对处理后的氟化钙晶圆表面进行辐照；采用仿形树脂轮进行酶水解辅助保形抛光；本发明能够实现纳米级高频粗糙度与低频面形保真的统一，最终获得近零损伤、超光滑的表面。

天眼查资料显示，霖鼎光学（江苏）有限公司，成立于2021年，位于南通市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，霖鼎光学（江苏）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目7次，专利信息22条，此外企业还拥有行政许可10个。

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