中电九天申请基于LSTM-FFNN组合模型的晶圆良率预测方法专利，实现更高精度的晶圆良率预测

国家知识产权局信息显示，中电九天智能科技有限公司申请一项名为“一种基于LSTM-FFNN组合模型的晶圆良率预测方法、系统、设备及介质”的专利，公开号CN122198235A，申请日期为2026年3月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，具体地说，涉及一种基于LSTM‑FFNN组合模型的晶圆良率预测方法、系统、设备及介质；该方法首先预处理获取的半导体制造过程数据；然后调用LSTM模型、FFNN模型构建特征提取模型，从预处理后的半导体制造过程数据提取得到时间序列特征、非时间序列特征；最后拼接时间序列特征、非时间序列特征得到融合特征，并输入至全连接层得到晶圆良率预测值；通过分类型处理时间序列与多模态数据，实现更高精度的晶圆良率预测，为半导体制造过程的实时调控、参数优化提供数据支撑，在提升生产效率的同时，降低了成本。

天眼查资料显示，中电九天智能科技有限公司，成立于2016年，位于成都市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本6003.18593万人民币。通过天眼查大数据分析，中电九天智能科技有限公司参与招投标项目340次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息110条，此外企业还拥有行政许可16个。

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