特思迪申请晶圆抛光上料机构及抛光设备专利,能够解决相关技术中晶圆上料至抛光压头的效率低,且难以精准上料至抛光压头的问题

市场资讯 2026-06-17 15:21:22
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国家知识产权局信息显示,北京特思迪半导体设备有限公司申请一项名为“晶圆抛光上料机构及抛光设备”的专利,公开号CN122210530A,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,本申请公开了一种晶圆抛光上料机构及抛光设备,上料机构包括:上料台,上料台上设置有第一工位;压头定位件,压头定位件用于在晶圆上料过程中将抛光压头定位在第一位置;晶圆托盘,设于第一工位,晶圆托盘用于承载晶圆;晶圆预定位组件,晶圆预定位组件用于将晶圆托盘上的晶圆预定位在第二位置;当抛光压头位于第一位置,晶圆位于第二位置时,晶圆与抛光压头同轴;升降驱动机构,用于驱动晶圆托盘升降,并通过上升将晶圆贴合至抛光压头。本申请能够将晶圆精准地上料至抛光压头的特定位置上,进而能够解决相关技术中晶圆上料至抛光压头的效率低,且难以精准上料至抛光压头的问题。

天眼查资料显示,北京特思迪半导体设备有限公司,成立于2020年,位于北京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1656.925954万人民币。通过天眼查大数据分析,北京特思迪半导体设备有限公司参与招投标项目126次,财产线索方面有商标信息32条,专利信息184条,此外企业还拥有行政许可20个。

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