烁科中科信申请离子注入机束流高度量测系统及方法专利，可计算出束流的整体高度值

国家知识产权局信息显示，北京烁科中科信电子装备有限公司申请一项名为“一种离子注入机束流高度量测系统及量测方法”的专利，公开号CN122291368A，申请日期为2026年2月。

专利摘要显示，本发明公开了一种离子注入机束流高度量测系统及量测方法，系统包括控制器、石墨挡板、升降单元和离子束检测单元；所述升降单元和离子束检测单元均与控制器相连；所述石墨挡板上设有多条具有预定倾斜角度的斜缝；所述升降单元与石墨挡板连接，用于驱动石墨挡板升降；所述离子束检测单元，用于接收通过石墨挡板上斜缝的离子束流，并发送至控制器；所述控制器用于根据一系列位置对应的束流强度数据，计算出束流的整体高度值和/或束流的上边沿与下边沿位置值。本发明具有结构简单、操作简便等优点。

天眼查资料显示，北京烁科中科信电子装备有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本24693.8634万人民币。通过天眼查大数据分析，北京烁科中科信电子装备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目406次，专利信息190条，此外企业还拥有行政许可4个。

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