深圳中机新材料申请用于单晶硅衬底抛光的高纯硅溶胶一体化制备装置专利，实现高纯硅溶胶连续稳定生产

国家知识产权局信息显示，深圳中机新材料有限公司申请一项名为“一种用于单晶硅衬底抛光的高纯硅溶胶一体化制备装置”的专利，公开号CN122298332A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于单晶硅衬底抛光的高纯硅溶胶一体化制备装置，涉及单晶硅衬底抛光用高纯硅溶胶生产技术领域。装置包括反应釜与集成于其下方的过滤箱，反应釜顶部设有硅源定量进料机构与溶剂同步进料机构，两机构通过同步传动实现等比例闭环定量投加；反应釜内采用下层斜桨与上层直桨组合的防沉降搅拌结构，并配有底部环形导流圈；搅拌机构与过滤机构通过锥齿轮及同步带实现动力联动，刮板与滤网弹性贴合并顺流向自动刮渣，配合 PLC 一体化闭环控制系统完成投料、搅拌、过滤全程联动调控。本发明有效解决传统装置投料不准、易沉降、易堵网、反应与过滤分段繁琐的问题，实现高纯硅溶胶连续稳定生产，满足 12 英寸单晶硅衬底抛光的使用要求。

天眼查资料显示，深圳中机新材料有限公司，成立于2021年，位于深圳市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1150.0001万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中机新材料有限公司共对外投资了5家企业，财产线索方面有商标信息20条，专利信息44条，此外企业还拥有行政许可11个。

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