微芸半导体取得绝缘窗口加热装置专利，提高加热时的均匀性

国家知识产权局信息显示，合肥微芸半导体科技有限公司取得一项名为“一种绝缘窗口加热装置”的专利，授权公告号CN224460499U，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种绝缘窗口加热装置，本实用新型涉及绝缘窗口加热技术领域，包括：加热件，设于刻蚀设备的绝缘窗口，以加热绝缘窗口；相对设置的固定组件，均可移动的设于刻蚀设备；相对设置的固定组件相互靠近，使加热件与刻蚀设备连接；或相对设置的固定组件相互远离，使加热件与刻蚀设备分离，本实用新型的优点在于：通过固定组件，可以提高对加热件安装或拆卸时的效率，同时还能提高加热件与绝缘窗口贴合的紧密度，进而可以有效的提高对绝缘窗口加热时的均匀性，以及加热时的导热效果。

天眼查资料显示，合肥微芸半导体科技有限公司，成立于2021年，位于合肥市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本473.561858万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥微芸半导体科技有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息39条，此外企业还拥有行政许可3个。

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