南京原磊纳米材料申请晶圆反应腔运动机构专利，改善腔体水平度

国家知识产权局信息显示，南京原磊纳米材料有限公司申请一项名为“一种晶圆反应腔的运动机构和晶圆反应设备”的专利，公开号CN122341130A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本申请涉及半导体生成设备领域，提供一种晶圆反应腔的运动机构和晶圆反应设备，运动机构包括至少两个提升装置和浮动连接装置；浮动连接装置包括第一连接体和第二连接体，第一连接体包括浮动套筒，且浮动套筒连接提升装置的运动末端；第二连接体设置在浮动套筒内，且第二连接体连接晶圆反应腔的腔体，第二连接体与浮动套筒之间浮动连接。在本申请实施例中，当两侧提升装置的运动末端运动不完全同步时，由于腔体的重力，以及，第一连接体与第二连接体之间浮动连接的共同作用，可以使处于腔体两侧的第二连接体的末端水平高度相同，这样，在至少两个提升装置同步运动时，本申请实施例提供的浮动连接装置可以改善腔体的水平度。

天眼查资料显示，南京原磊纳米材料有限公司，成立于2018年，位于南京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本4140.5988万人民币。通过天眼查大数据分析，南京原磊纳米材料有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目53次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息80条，此外企业还拥有行政许可13个。

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