睿晶半导体申请掩膜版及检测掩膜版图形居中性的方法专利,实现掩膜版居中性的全检

市场资讯 2026-07-10 09:01:45
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国家知识产权局信息显示,睿晶半导体(宁波)有限公司申请一项名为“掩膜版及检测掩膜版图形居中性的方法”的专利,公开号CN122362735A,申请日期为2026年5月。

专利摘要显示,本发明提供了一种掩膜版及检测掩膜版图形居中性的方法。通过在掩膜版的图形区外围设置检测标识,检测标识的最外侧与所述掩膜版的边缘贴合,检测标识从所述掩膜版的边缘起始向内部延伸的宽度为掩膜版的最大允许偏移量;并在掩膜版生产流程的目检步骤中观察检测标识的显示状态判定掩膜版的居中性偏移以及是否超出预设规格,无需额外增加居中性检测步骤,在不增加掩膜版的生产周期、且无额外的生产成本投入的情况下,实现掩膜版居中性的全检,提高了产品的良率。

天眼查资料显示,睿晶半导体(宁波)有限公司,成立于2022年,位于宁波市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本85000万人民币。通过天眼查大数据分析,睿晶半导体(宁波)有限公司参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息30条,此外企业还拥有行政许可6个。

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