东方晶源取得电子探测装置和电子束成像设备专利，能够以简单的结构对不同能量的电子信号同时成像

国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司取得一项名为“电子探测装置和电子束成像设备”的专利，授权公告号CN224480927U，申请日期为2025年5月。

专利摘要显示，本申请公开了一种电子探测装置和电子束成像设备。电子探测装置包括探测组件和电子过滤组件。探测组件包括多个探测单元，各探测单元均处于电子信号的传播路径中，探测单元用于接收和处理电子信号，电子信号由电子束照射待测样品产生。电子过滤组件包括多个过滤单元，过滤单元用于过滤电子信号，多个过滤单元与多个探测单元一一对应设置，在电子信号的传播方向上，过滤单元位于相应的一个探测单元的上游。多个过滤单元中，至少两个过滤单元对电子信号的透过率不同，以使得通过至少两个过滤单元的电子信号的能谱段不同。本申请能够以简单的结构对不同能量的电子信号同时成像，从而对待测样品的不同特征同时成像，成本较低，适用范围较广。

天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目52次，财产线索方面有商标信息174条，专利信息444条，此外企业还拥有行政许可18个。

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