西艾爱电子申请芯片刻蚀设备专用电源滤波器专利，实现对芯片刻蚀设备电源侧宽频段电磁干扰的高效抑制

国家知识产权局信息显示，上海西艾爱电子股份有限公司申请一项名为“一种芯片刻蚀电气设备专用电源滤波器”的专利，公开号CN122437372A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，本发明公开了半导体晶圆加工技术领域的一种芯片刻蚀电气设备专用电源滤波器，包括壳体组件、设置于所述壳体组件内部的滤波单元、与所述滤波单元电连接的接口组件，以及，防护组件；所述壳体组件包括外壳、侧板和端盖；所述滤波单元包括第一差模电容、定制化线圈、第二差模电容和共模电容；所述第一差模电容、所述定制化线圈、所述第二差模电容和所述共模电容依次串联连接，且所述共模电容的接地端与所述外壳连接。本发明实现对芯片刻蚀设备电源侧宽频段电磁干扰的高效抑制，提升刻蚀设备电源系统的稳定性、电磁兼容性与运行可靠性，完全匹配芯片刻蚀的高精度、连续化运行需求。

天眼查资料显示，上海西艾爱电子股份有限公司，成立于1999年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本7177.57万人民币。通过天眼查大数据分析，上海西艾爱电子股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目11次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息130条，此外企业还拥有行政许可82个。

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