苏州矽视科技申请静电吸盘检测系统专利，能够提高工艺稳定性和生产良率

国家知识产权局信息显示，苏州矽视科技有限公司申请一项名为“一种静电吸盘检测系统、检测方法及检测装置”的专利，公开号CN122476851A，申请日期为2026年3月。

专利摘要显示，本发明公开了一种静电吸盘检测系统、检测方法及检测装置，控制器给出吸附指令，在吸附电压模块产生吸附电压；电容检测模块用于判断晶圆与静电吸盘的吸附；顶升直杆电机控制顶升直杆电机，产生驱动力，压缩或者拉长真空波纹管，控制顶升连杆垂直运动，实现晶圆顶升和落下；表面电位计，通过感应被测物体表面的静电场，从而精确计算出其相对于大地的表面电位。高度干涉仪，包含激光器和高度传感器，激光器产生激光，入射到晶圆表面，对晶圆表面进行逐区扫描，得到对应区域的高度成像，判断静电吸盘的表面平整度，表面颗粒以及晶圆翘曲程度。能够实时对晶圆状态进行分析，避免晶圆粘连，温度不平衡等现象发生，能够提高工艺稳定性和生产良率。

天眼查资料显示，苏州矽视科技有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本516.3407万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州矽视科技有限公司参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息37条，此外企业还拥有行政许可8个。

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