思锐智能取得前驱体给予装置专利，能够确保载气流量尤其是携带前驱体的管路二流量的精准可控

国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司取得一项名为“一种前驱体给予装置”的专利，授权公告号CN224578347U，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种前驱体给予装置，涉及半导体技术领域；其包括与氮气源连接的总管路，所述总管路上设置有压力计和流量控制器；所述总管路的出口端分别连接有管路一和管路二，所述管路一和管路二的出口端共同连接至反应腔室；所述管路一上依次设置有阀门一和控制阀三；所述管路二上依次设置有控制阀一和控制阀二，所述管路二上还通过支管一和支管二连接有前驱体容器；所述管路一或管路二上还设置有流量计。本实用新型提供的装置可准确实时监测对应管路的流量，结合总管路上的流量控制器，能够确保载气流量尤其是携带前驱体的管路二流量的精准可控。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。