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宁夏中欣晶圆申请线切割机切割面方位偏差校正系统及方法专利,显著降低生产损耗
市场资讯 2026-08-14 09:02:40
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国家知识产权局信息显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“线切割机切割面方位偏差校正系统及方法”的专利,公开号CN122560271A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明提供一种线切割机切割面方位偏差校正系统及方法,属于半导体器件加工技术领域。包括:载台机构、偏差检测机构、偏差校正机构及控制机构;偏差检测机构设置在载台机构底板的前侧,且与载台机构底板位于同一水平面,用于检测载台机构的方位偏差;偏差校正机构设置在载台机构底板的左右两侧,并分别与载台机构底板的左右两侧连接,用于控制载台机构底板左右偏转;控制机构分别与偏差检测机构、偏差校正机构电性连接,用于获取偏差检测机构检测的载台机构的方位偏差,并根据方位偏差启动偏差校正机构,控制载台机构底板左右偏转,以对方位偏差进行校正。从而在切割过程中即可实时发现并校正偏差,避免了批量报废,显著降低生产损耗。
天眼查资料显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2015年,位于银川市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目17次,专利信息405条,此外企业还拥有行政许可26个。
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