能量奇点申请基于平板式加热垂直带材扫描的脉冲激光沉积镀膜设备专利,提升薄膜沉积均匀性

市场资讯 2026-08-28 19:31:04
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国家知识产权局信息显示,能量奇点能源科技(上海)有限公司申请一项名为“基于平板式加热垂直带材扫描的脉冲激光沉积镀膜设备”的专利,公开号CN122648879A,申请日期为2026年7月。

专利摘要显示,本发明公开了基于平板式加热垂直带材扫描的脉冲激光沉积镀膜设备,包括真空系统、走带系统、往复机构、靶距调节机构、走靶机构、加热机构及光路系统;本发明适用于镀膜设备领域,通过磁粉离合器、张力传感器闭环控制,结合带材盘圈数计算实时张力并反馈调节,实现带材张力波动及张力差值波动的高精度控制,创新性引入张力差(Fx)参数,将Fx数据反馈至PLD系统并联动水冷板高度调节,确保带材与水冷板紧密贴合,稳定镀膜温度场,提升薄膜沉积均匀性,采用伺服电机驱动+带材盘圈数记录+双侧计米器测速的三重速度监控体系,实现走带速度稳定控制,并具备速度自诊断与米数自诊断功能,有效降低生产过程中的长度误差与速度波动。

天眼查资料显示,能量奇点能源科技(上海)有限公司,成立于2021年,位于上海市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本196.8088万人民币。通过天眼查大数据分析,能量奇点能源科技(上海)有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目9次,财产线索方面有商标信息18条,专利信息26条,此外企业还拥有行政许可14个。

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