上海隐冠半导体申请一种激光扫描装置专利，能够驱动上层物料围绕第一方向旋转、围绕第二方向旋转、和/或沿第三方向运动

国家知识产权局信息显示，上海隐冠半导体技术股份有限公司申请一项名为“一种激光扫描装置”的专利，公开号CN122766373A，申请日期为2026年8月。

专利摘要显示，本申请提供了一种激光扫描装置，涉及半导体芯片制造的技术领域。本申请提供的激光扫描装置包括：基座、设于基座上的下运动层、设于下运动层的上方的上运动层以及设于上运动层的上方的激光振镜系统；下运动层包括：能够相对于基座沿第一方向运动的下层框架、能够相对于下层框架沿第二方向运动的下层运动台，下层运动台被配置为能够驱动下层物料围绕第三方向旋转；上运动层包括：能够相对于基座沿第一方向运动的上层框架、能够相对于上层框架沿第二方向运动的固定板以及与固定板固定连接的上层运动台，上层运动台被配置为能够驱动上层物料围绕第一方向旋转、围绕第二方向旋转、和/或沿第三方向运动；激光振镜系统被配置为能够沿第三方向运动。

天眼查资料显示，上海隐冠半导体技术股份有限公司，成立于2019年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本4200万人民币。通过天眼查大数据分析，上海隐冠半导体技术股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息308条，此外企业还拥有行政许可8个。

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