思锐智能申请晶圆的圆心定位与校准方法、装置及电子设备专利，对晶圆进行圆心校准

国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆的圆心定位与校准方法、装置及电子设备”的专利，公开号CN122835238A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本申请提供一种晶圆的圆心定位与校准方法、装置及电子设备，涉及半导体制造技术领域。在本申请中，对晶圆的M个位置坐标进行圆拟合，确定晶圆的第一圆心位置，并确定M个采集位置与第一圆心位置的第一位置距离；基于M个第一位置距离和预设的第一距离阈值对M个采集位置进行离群点剔除，得到N个采集位置；对N个采集位置分别对应的位置坐标进行圆拟合，确定晶圆的第二圆心位置，并基于第二圆心位置确定圆心位置偏移；基于N个采集位置与第二圆心位置的第二位置距离，从N个采集位置中筛选出目标采集位置，并基于目标采集位置的极角确定圆心角度偏移；控制晶圆校准装置的晶圆旋转电机按照圆心位置偏移和圆心角度偏移对晶圆进行圆心校准。

天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本135298.7908万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目92次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息201条，此外企业还拥有行政许可25个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。