苏州矽视科技申请复合电磁物镜、扫描电子束成像装置及成像方法专利，可在同一电子光学结构中兼容低着陆能量CDSEM表层成像和高着陆能量HVSEM底部/或浅表层下图案成像

国家知识产权局信息显示，苏州矽视科技有限公司申请一项名为“一种复合电磁物镜、扫描电子束成像装置及成像方法”的专利，公开号CN122907560A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本发明属于扫描电子束成像系统技术领域，特别涉及一种复合电磁物镜、扫描电子束成像装置及成像方法，包括第一磁透镜、第二磁透镜和悬浮极靴；第一磁透镜与第二磁透镜有共用极靴，第一磁透镜与悬浮极靴在靠近样品一侧形成径向缝隙；第二磁透镜与悬浮极靴之间形成沿光轴方向的轴向缝隙；悬浮极靴设置在共用极靴的末端，并且与共用极靴之间高压电气绝缘；悬浮极靴被配置为能够被施加独立偏压以形成静电透镜。本发明在同一电子光学结构中兼容低着陆能量CDSEM表层成像和高着陆能量HVSEM底部/或浅表层下图案成像，并对SE、BSE的返回轨迹和探测器分配比例进行控制，使不同类型或不同来源的信号电子能够被分层采集。

天眼查资料显示，苏州矽视科技有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本516.3407万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州矽视科技有限公司参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息39条，此外企业还拥有行政许可8个。

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