晶瑞电材：ArF高端光刻胶研发有序开展，部分样品已开展客户送样验证

7月22日消息，有投资者在互动平台向晶瑞电材提问：ARF 光刻胶现在进展到底怎么样？测试ARF光刻胶的光刻机调试完成了吗？ 能正常使用吗？

公司回答表示：公司共有5台光刻 机，分别用于紫外宽谱、g线、i线、KrF和ArF产品的研发以及量产，ArF高端光刻 胶研发工作在有序开展中，部分样品已开展客户送样验证工作。