AI算力扩产叠加国产替代，半导体设备ETF易方达（159558）受资金追捧

5月20日，截至15:00，半导体材料设备指数上涨5.73%。个股方面，中科飞测涨超17%，拓荆科技涨超14%，华峰测控涨超10%，长川科技、华海清科等涨超7%，北方华创涨超5%，芯源微涨超4%，中微公司涨超2%。

热门ETF方面，半导体设备ETF易方达（159558）当前成交额11.57亿元，换手率15.29%。半导体设备ETF易方达连续5日净流入。

消息面上，5月20日，AI算力扩产潮拉动国内半导体设备采购需求，SEMI数据显示2026年一季度中国内地半导体设备采购额约98亿美元，同比增长25%，需求主要来自中芯国际、华虹半导体、长鑫存储等晶圆厂扩产；同日，上交所定于5月21日审核频准激光科创板首发事项，该公司业务聚焦半导体设备等战略领域，2025年25.5%收入来自半导体量测与加工场景；汇成真空透露全资子公司苏州汇创半导体设备有限公司建设筹备有序推进；憬宏半导体材料（珠海）有限公司成立，经营范围涵盖半导体器件专用设备销售等；成都隽晖自动化设备取得半导体芯片加工分切装置专利，可提升加工良品率；安利股份称其研发的半导体领域复合新材料已实现一定量产。

华泰证券指出，我国半导体材料国产化空间广阔，头部企业有望充分受益。随着芯片向3DNAND及HBM的多层结构、先进制程以及先进封装方向等发展，半导体材料需求未来有望持续增长。机构指出，存储大周期背景下，长存长鑫盈利大幅改善，利润投入扩产，设备材料需求确定性强；AI推动全球半导体capex向上，国产算力供给端紧张，先进工艺突破后带动先进逻辑大扩产；海外限制不断，国产替代扩散，从成熟走向先进，外资中国fab向国产供应链开放，打开新市场空间。

半导体设备ETF易方达（159558）紧密跟踪半导体材料设备（931743.CSI），该指数由40只业务涉及半导体材料、半导体生产设备的公司股票组成，半导体设备、半导体材料行业合计占比超85%。

半导体设备ETF易方达（159558）场外联接基金为（021893、021894）。

风险提示：股市有风险，投资需谨慎。